真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜，具體包括很多種類，包括真空電阻加熱蒸發(fā)，電子槍加熱蒸發(fā)，磁控濺射，MBE分子束外延，PLD激光濺射沉積，離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發(fā)和濺射兩種。

 

常見的幾種故障處理方法：

 

一、檢測不到掩膜夾具翻轉信號：

 

1、檢查翻面信號源位置

2、將翻面輸入信號人工短接，使用翻面檢測功能，計算機能檢測到信號時，證明問題在翻面控制開關上，根據情況做相應處理。檢測不到信號首先檢查線路，然后更換控制卡。

 

二、掩膜夾具翻轉不穩(wěn)定:

 

1、檢查翻板的初始位置是否符合時機

2、檢測翻面控制開關工作是否穩(wěn)定，可用指針萬用表跟蹤監(jiān)測。

3、檢查翻轉機構動作是否靈活可靠

4、檢查翻面信號次數設置

5、檢查旋轉工作臺是否與鐘罩內壁有磨擦現象

6、檢測旋轉工作臺在轉動時的穩(wěn)定性

 

三、在同一掩膜夾具頻率散差大:

 

1. 檢查晶片本身是否散差大

2. 檢查膜層修正板位置是否變動,重新調節(jié)修正板

3．檢查一下擋板在開、關時是否全遮擋住鉬舟

4．檢查一下轟擊環(huán)是否完遮擋住鉬舟

5．檢查鉬舟使用是否符合要求，要采用圓形鉬舟